在我國“潔淨廠房設計規範”GB 50073-2002中對潔淨室潔淨度等級已做出了規定（見下表），這一規定是采用了國際標準ISO 14644中的潔淨度等級。目前，我國、歐盟、日本、俄羅斯等國的潔淨度等級均采用或參照上述國際標準來製訂本國或本地區的潔淨室潔淨度的等級標準。美國也將本國的FS 209E中潔淨度等級標準修改為ISO 14644標準。
潔淨室及潔淨區空氣中懸浮粒子的潔淨度等級（ISO 14644）
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空氣潔淨度等級（N） |
≥表中粒徑的最大濃度限值（個/m3） |
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0.1 μm |
0.2 μm |
0.3 μm |
0.5 μm |
1 μm |
5 μm |
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1 |
10 |
2 |
/ |
/ |
/ |
/ |
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2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
/ |
/ |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
/ |
|
4 |
10,000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
/ |
|
5 |
100,000 |
23700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
|
6 |
1,000,000 |
237000 |
102,000 |
35,200 |
8320 |
293 |
|
7 |
/ |
/ |
/ |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
|
8 |
/ |
/ |
/ |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
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9 |
/ |
/ |
/ |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注：
① 每點至少采樣3次。
② 本標準不適用表征懸浮粒子的物理、化學、放射及生命性。
③ 根據工藝要求可確定1~2個粒徑。
④ 根據要求粒徑D的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1μm~5μm）
式中: N —為潔淨度等級可在1~9級中間以0.1為最小單位遞增量插入。
CN —大於或等於要求粒徑的粒子最大允許濃度（PC/m3），以四舍五入至近似的整數，有效位數不超過三位數。
D —要求的粒徑（μm）。
0.1—常數（μm）。
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